1月4日消息，据外媒报道，全球重要的光刻机制造商ASML在当地时间周一宣布，他们位于德国柏林的一座工厂发生了火灾，大火已在晚间被扑灭，没有人员受伤，详细损失及影响的产能规模还需要时间评估。

ASML已在官网上公布了柏林工厂发生火灾的消息，从官网的信息来看，发生火灾的工厂主要生产光刻机的零组件，受到损害的零组件产线，包括晶圆台、光罩吸盘和反射镜。

由于ASML是全球重要的光刻机制造商，也是目前唯一能制造极紫外光刻机（EUV）的厂商，与台积电、三星及英特尔都有密切合作关系，台湾也设有相关部门，在台员工人数初估达2000人。

在全球多领域芯片短缺的背景下，ASML光刻机的生产及交付至关重要，柏林工厂的火灾是否会影响到生产就备受关注。另外，由于光刻机由众多部件组装而成，任何部件生产的推迟，都可能影响到光刻机最终的生产和交付，进而影响到芯片厂商扩大产能。

对于火灾的影响，ASML在官网上也有提及，他们表示现在披露火灾的损失或对今年生产计划的影响都还为时尚早，全面的调查和评估需要几天时间，一旦他们完成了评估，就会对外公布最新的消息。

2021年10月底，ASML发布了Q3财报，净销售额52亿欧元（约合386亿元），毛利率51.7%，净利润17亿欧元（约合126亿元）。官方预计四季度销售额49亿—52亿欧元，毛利率在51%—52%。

ASML称，三季度，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。

DUV（深紫外）光刻机方面，完成出货1000台ArF（氟化氩浸没式光刻系统），这距离第一台浸没式光刻机（XT:1700Fi）出货过去了15年。

这一年多来，全球半导体产能紧张，台积电等芯片制造公司也在积极扩大产能，光刻机之类的设备很抢手，在这个关键时刻，全球光刻机一哥ASML的工厂发生火灾，可能会对晶圆大厂的生产产生不利影响。